Ověření principu nenabíjející rastrovací elektronové mikroskopie s vysokým rozlišením a jeho použití ke studiu nepokovených povrchů málo vodivých materiálů

5632

Ověření principu nenabíjející rastrovací elektronové mikroskopie s vysokým rozlišením a jeho použití ke studiu nepokovených povrchů málo vodivých materiálů

Cílem projektu je ověřit navržený původní princip nenabíjející rastrovací elektronové mikroskopie (REM) pomocí adaptace existujícího nízkoenergiového REM pro navrženou metodu měření a nastavování "nenabíjející" energie dopadu elektronů na vzorek. Přístroj bude doplněn o elektronicky řízený vysokonapěťový zdroj pro předpětí vzorku, dále o speciální rastrovací a detekční elektronickou jednotku pro měření závislosti signálu na energii dopadu, o programové vybavení pro řízení měření a pro ovládání mikroskopu v režimu zobrazení na kritické energii a v konečné fázi bude zlepšeno rozlišení mikroskopu rekonstrukcí části osvětlovacího systému. Ověření bude prováděno na površích technických izolantů pomocí studia procesu nabíjení pod dopadem elektronů a jeho závislosti na energii elektronů. Princip bude bezprostředně aplikován na studium povrchů vybraných nevodivých materiálů.
Řešitel v ÚPT: 
RNDr. Luděk Frank, DrSc.
Řešitel: 
Luděk Frank - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.
Agentura: 
GA ČR
Reg. č.: 
GA202/96/0961
Datum od: 
1. 1. 1996
Datum do: 
31. 12. 1998