Další rozvoj nenabíjející rastrovací elektronové mikroskopie nevodivých vzorků

5635

Další rozvoj nenabíjející rastrovací elektronové mikroskopie nevodivých vzorků

Navrhovaný projekt bezprostředně navazuje na grantový projekt 202/96/0961, v jehož rámci byla ověřena a vypracována metoda nenabíjející rastrovací elektronové mikroskopie využívající kritických energií dopadajících elektronů, při nichž je celkový výtěžek emitovaných elektronů roven jedné a v preparátu se nehromadí žádný náboj. V předchozím projektu, věnovaném především měření kritických energií, byla metoda dotažena do stavu automatické procedury systému řízení mikroskopu počítačem, v níž je nalezena kritická energie a pořízen snímek preparátu nezkreslený projevy nabíjení nevodivého povrchu. Navrhovaný projekt zahrnuje vypracování teoretického modelu procesu měření hodnoty nenabíjející energie elektronů prostřednictvím snímání časového vývoje signálu celkové emise elektronů, který by měl poskytnout podklady pro optimalizaci tohoto postupu, zejména s ohledem na přesnost a spolehlivost výsledku u citlivých a heterogenních preparátů. Nejdůležitějším cílem navrhovaného projektu je rozpracování metody nenabíjející mikroskopie pro některé její klíčové aplikace, tj. pro použití při zobrazování heterogenních kompozičních matriálů, povrchů exponovaných rezistů v technologii polovodičových prvků v různých fázích zpracování a při zobrazování preparátů geologického původu vyznačujících se výraznějsí heterogenitou vodivosti. Pozornost bude věnována i zavádění této metody do dalších aplikačních oblastí v oblasti biomedicíny. Jedná se o multidisciplinární projekt založený na společné metodice.
Řešitel v ÚPT: 
RNDr. Luděk Frank, DrSc.
Řešitel: 
Luděk Frank - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.
Agentura: 
GA ČR
Reg. č.: 
GA202/99/0008
Datum od: 
1. 1. 1999
Datum do: 
31. 12. 2001