Studium nanostruktur elektronovým svazkem

5211

Studium nanostruktur elektronovým svazkem

Nově vyvinutý princip rastrovacího elektronového mikroskopu (REM) s katodovou čočkou dovoluje zobrazit vzorek v celém rozsahu energií elektronů s téměř neměnným rozlišením obrazu. V oblasti velmi nízkých energií (jednotky až stovky eV), které nejsou k dispozici v klasickém REM (jednotky až desítky keV), je pozorována řada nových kontrastů, na jejichž tvorbě se účastní lokální chemická, krystalická i elektronická struktura vzorku. Interpretace je proto mnohdy nejednoznačná. Důležitou alternativou je kombinace s vhodnou komplementární technikou, zejména s rastrovací mikroskopií Augerovými elektrony pro zjištění lokálního prvkového složení do hloubky podobné dosahu REM s pomalými elektrony. V rámci projektu bude dokončena ultravysokovakuová aparatura s autoemisním zdrojem elektronů, která umožní srovnání obou metod s prostorovým rozlišením v řádu nm. Po vypracování metody budou studovány vybrané polovodičové struktury, multivrstvy a kompozity na bázi kovových slitin.
Řešitel v ÚPT: 
Ing. Petr Hrnčiřík, Ph.D.
Řešitel: 
Petr Hrnčiřík - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.
Agentura: 
GA AV ČR
Reg. č.: 
KJB2065405
Datum od: 
1. 1. 2004
Datum do: 
31. 12. 2005