Výzkum detekčních systémů pravých sekundárních elektronů v nově koncipovaném environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu

5132

Výzkum detekčních systémů pravých sekundárních elektronů v nově koncipovaném environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu

Environmentální rastrovací elektronová mikroskopie (EREM) se řadí k posledním trendům mikroskopických metod. Umožňuje pracovat v komoře vzorku s tlaky vyššími než ve standardním REM (cca. 1000Pa oproti 0,001Pa) a pozorovat vzorky v jejich přirozeném vlhkém stavu bez předchozí preparace a bez nežádoucích nabíjecích artefaktů na jejich povrchu. Byla vyřešena celá řada problémů spojených s touto metodikou, nicméně některé nedostatky zůstávají nedořešeny.Projekt se zabývá jedním z nich – detekcí pravých sekundárních elektronů způsobem, který zcela potlačuje vliv nežádoucích zpětně odražených elektronů. Princip detekce spočívá v odsávání sekundárních elektronů ze vzorku umístěného v prostředí vysokého tlaku plynu do prostředí vysokého vakua v němž je umístěn scintilátor s vysokým elektrodovým potenciálem. Sekundární elektrony jsou odsávány pomocí nízkého elektrostatického pole do dvou komor s diferenciálně čerpaným tlakem plynu. Tyto komory jsou odděleny aperturními clonami tvořícími současně elektrostatické čočky. Fokusované elektrony jsou urychleny ve vakuové komoře elektrostatickým polem na scintilátoru za vzniku požadovaného signálu.
Řešitel v ÚPT: 
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc.
Řešitel: 
Bohumila Lencová - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.
Spoluřešitelé: 

Josef Jirák - VUT Brno, FEKT

Agentura: 
GA ČR
Reg. č.: 
GA102/05/0886
Datum od: 
1. 1. 2005
Datum do: 
31. 12. 2007