Detekce signálních elektronů při nízkých energiích primárního svazku v rastrovací elektronové mikroskopii

Nízká energie signálních elektronů, zejména zpětně odražených elektronů je příčinou snížené výtěžnosti detektorů. Zatímco problém detekce sekundárních elektronů byl úspěšně vyřešen jejich odsáváním v magnetickém poli a detekcí v objektivové čočce, účinná detekce nízkoenergiových zpětně odražených elektronů dosud zůstala nevyřešena. Projekt bude zaměřen na vypracování scintilačního detektoru na bázi nově vyvinutého monokrystalického ytrito hlihitého perovskytu. Zpětně odražené elektrony o počáteční energii 0,7 - 3 kV, tedy energii, při které klesá světelný výtěžek všech scintilátorů, budou urychleny elektrostatickým polem ke scintilátoru a sekundární elektrony budou odfiltrovány energiovým filtrem nebo magnetickým polem. V rámci projektu budou studovány vlivy různých objektivových čoček na trajektorie signálních elektronů a na detekční účinnost vyvinutého detektoru. Obrazová interpretace bude zaměřena na studium kontrastních mechanismů.