Depozice tenkých vrstev fokusovaným iontovým svazkem o nízké energii; studium depozičních procesů (růstu vrstev) in situ
5433
Depozice tenkých vrstev fokusovaným iontovým svazkem o nízké energii; studium depozičních procesů (růstu vrstev) in situ
Řešitel v ÚPT:
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc.
Řešitel:
Tomáš Šikola - Vysoké učení technické v Brně
Spoluřešitelé:
Bohumila Lencová - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.
Agentura:
GA ČR
Reg. č.:
GA202/94/0565
Datum od:
1. 1. 1994
Datum do:
31. 12. 1996