Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích

6431

Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích

Podstatou projektu je vyvinout depoziční systém pro přípravu termálně stabilních nanostrukturovaných diamantu podobných uhlíkových vrstev s využitím dvoufrekvenčního kapacitního plazmatu. Je plánována komplexní charakterizace jak dvoufrekvenčního plazmatu, tak struktury, mechanických a optických vlastností deponovaných vrstev.
Řešitel v ÚPT: 
Ing. Jaroslav Sobota, CSc.
Řešitel: 
Vilma Buršíková - Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Spoluřešitelé: 

Jaroslav Sobota - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.
Petr Petr Klapetek - Český metrologický institut

Agentura: 
GA ČR
Reg. č.: 
GA202/07/1669
Datum od: 
1. 1. 2007
Datum do: 
31. 12. 2011