Detektor úhlového rozlišení signálních elektronů v nízkoenergiovém mikroskopu

6533

Detektor úhlového rozlišení signálních elektronů v nízkoenergiovém mikroskopu

Cílem projektu je návrh a realizace detektoru úhlového a energiového rozdělení signálních elektronů v rastrovacím mikroskopu s velmi nízkou energií elektronů se zkrácenou dobou integrace a zvýšenou rychlostí zpracování signálu. Detekce signálního svazku plošným detektorem umožňuje využít kontrastů vzniklých při interakci elektronové sondy se studovanýcm vzorkem k vytvoření nového obrazu pozorovaného vzorku. Jádrem detektoru bude zpětně osvětlovaný CCD sensor CCD39 pracující v režimu přímé detekce elektronů s vysokým zesílením již na energiích pod 5 keV. Použití tohoto typu sensoru povede ke zkrácení doby potřebné pro získání jednoho snímku studovaného vzorku na asi 10 minut. To umožní použít detektor v experimentální praxi při mikroskopickém zkoumání pevných látek, a tak rozšířit metody zkoumání vzorků v rastrovacím elektronovém mikroskopu. Úsilí řešitele se zaměří na tři hlavní oblasti, které mohou být současně považovány za tři dílčí výstupy projektu - návrh a realizace elektroniky po hardwarové a softwarové stránce, určení optimální energie signálních elektronů bombardujících CCD snímač a zpracování obrazu pozorovaného vzorku podle potřeb experimentální praxe.
Řešitel v ÚPT: 
Ing. Miroslav Horáček, Ph.D.
Řešitel: 
Miroslav Horáček - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.
Agentura: 
GA ČR
Reg. č.: 
GA102/00/P001
Datum od: 
1. 1. 2000
Datum do: 
31. 12. 2002