Elektronová litografie pro přípravu nanostruktur
6231
Elektronová litografie pro přípravu nanostruktur
Řešitel v ÚPT:
doc. Ing. Vladimír Kolařík, Ph.D.
Řešitel:
Vladimír Kolařík - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.
Agentura:
GA ČR
Reg. č.:
GA102/05/2325
Datum od:
1. 1. 2005
Datum do:
31. 12. 2006