Heliová kryogenní vývěva pro elektronově optické přístroje

3231

Heliová kryogenní vývěva pro elektronově optické přístroje

Studium čistých a definovaných povrchů pomocí elektronových svazků s nízkou energií, zvláště pak v kombinaci s elektronovou spektroskopií, vyžadují dosažení ultravakua v prostoru preparátu i eliminaci rušivých magnetických polí. Rozptylové pole obvykle používaných iontových vývěv může v tomto případě negativně ovlivňovat elektronový svazek. Hlavním cílem projektu je návrh heliové lázňové kryogenní vývěvy s parametry přizpůsobenými požadavkům přístrojů elektronové optiky včetně ověření funkčních vlastností vývěvy. K chlazení čerpacího panelu vývěvy na teplotu 4.2 K bude použito normálního kapalného helia (LHe). Vzhledem k nízké spotřebě LHe nebude třeba k hospodárnému provozu vývěvy používat uzavřeného okruhu He. Ke stínění lázně LHe bude použita přídavná lázeň kapalného dusíku (LN2). Návrh a zhotovení malé hospodárné kryogenní vývěvy budou umožněny díky novým metodám výpočtů a zdokonaleným technologiím v kryogenní technice. Předpokládané intervaly doplňování kryokapalin jsou více jak 20 dní pro LHe a 4 dny pro LN2. Lze předpokládat použití vývěvy i v jiných aplikacích ultravakuové techniky. Dalším možným směrem vývoje vývěvy je snížení teploty LHe k hodnotě 2 K a dosažení podstatně nižšího mezního tlaku.
Řešitel v ÚPT: 
Ing. Pavel Hanzelka
Řešitel: 
Pavel Hanzelka - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.
Agentura: 
GA ČR
Reg. č.: 
GA101/00/0028
Datum od: 
1. 1. 2000
Datum do: 
31. 12. 2002