Koherentní zobrazování nanostruktur v nízkoenergiovém rastrovacím elektronovém mikroskopu s plošným detektorem elektronů

6511

Koherentní zobrazování nanostruktur v nízkoenergiovém rastrovacím elektronovém mikroskopu s plošným detektorem elektronů

Bude studován mechanismus vzniku kontrastu v rastrovacím elektronovém mikroskopu s velmi nízkou energií elektronů, založený na rozdílech v rozdělení signálních elektronů mezi jednotlivými body povrchu objemového vzorku. Signální elektrony vycházející ze vzorku pod různými úhly budou zpracovány vhodnou elektrostatickou elektronovou optikou a zobrazeny na mnohokanálový plošný detektor. Metoda bude ověřena pozorováním difrakčního kontrastu na čistých površích, kontrastu s dělenou amplitudou na tenkých vrstvách a kontrastu mezi různě dopovanými oblastmi polovodiče. Pro experimenty použijeme nově navržený optický systém s katodovou čočkou pro zbrždění elektronů primárního svazku na velmi nízkou energii, s Wienovým filtrem pro odklonění signálních elektronů od optické osy a s elektrostatickými transportními čočkami. Pro detekci signálních elektronů bude použit ztenčený ze zadní strany přímo elektrony bombardovaný CCD.
Řešitel v ÚPT: 
Ing. Miroslav Horáček, Ph.D.
Řešitel: 
Miroslav Horáček - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.
Agentura: 
GA AV ČR
Reg. č.: 
IAA100650803
Datum od: 
1. 1. 2008
Datum do: 
31. 12. 2010