Kombinované SIMS-SFM zařízení pro 3D chemickou analýzu nanostruktur

5401

Kombinované SIMS-SFM zařízení pro 3D chemickou analýzu nanostruktur

Cílem projektu je vývoj nového zařízení, které kombinuje TOF-SIMS (hmotnostní spektrometr sekundárních iontů určujícím dobu průletu spektrometrem) s vysokorozlišovacím ultravakuovým mikroskopem atomárních sil. 3D-Nanochemiscope poskytne doplňující informaci o chemickém složení povrchu s rozlišením až 10 nm a hloubkovým rozlišením 1 nm, dovolujícím rekonstruovat chemickou strukturu ve třech rozměrech. Rozlišení spektrometru se zlepší použitím nového zdroje s kapalným vizmutem (Bi LMIG), vývoj nového TOF spektrometru dovolí zvýšit citlivost analýzy. V zařízení bude použit metrologický mikroskop s vysoce přesným rastrováním pomocí ohybového skeneru a precizním xyz-stolkem, který bude vyvinut a vyráběn firmou NANOSCAN.
Řešitel v ÚPT: 
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc.
Řešitel: 
Ewald Niehuis - ON-TOF Technologies
Spoluřešitelé: 

Bohumila Lencová - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.

Agentura: 
EC
Reg. č.: 
NMP4-SE-2008-200613
Datum od: 
15. 9. 2008
Datum do: 
15. 9. 2012