Mikroskopie a difrakce s velmi pomalými elektrony v rastrovacím elektronovém mikroskopu

3101

Mikroskopie a difrakce s velmi pomalými elektrony v rastrovacím elektronovém mikroskopu

Difrakce pomalých elektronů (LEED) a nedávno také mikroskopie (LEEM) jsou cennými nástroji fyziky povrchů. Stále nedořešeným problémem je však dosažení vysokého prostorového rozlišení, účinné detekce a analýzy s velmi pomalými elektrony (0-20 eV). Naším cílem je dosáhnout rozlišení 25 nm při energii 10 eV v rastrovacím mikroskopu s velmi pomalými elektrony (SVLEEM). Rastrovací systém umožňuje současnou a mnohem jednodušší detekci signálů ve srovnání s konvenčním LEEM. Základním prvkem našeho návrhu SVLEEM je imersní objektiv, se vzorkem jako katodou, který je vnořen do elektrostatického pole katodové čočky a magnetického pole jednopólové čočky. Pro oddělení odraženého a primárního elektronového svazku navrhujeme využití Wienova filtru s multipólovými poly tak, že nebude ovlivňovat paraxiální paprsky primárního svazku elektronů. Velmi zajímavé bude studovat možnosti modifikované imersní čočky s posuvnou osou, tzn. současné působení polí imersního objektivu a v něm vnořených vychylovacích cívek.
Řešitel v ÚPT: 
Ing. Ilona Müllerová, DrSc.
Řešitel: 
Ilona Müllerová - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.
Agentura: 
GA AV ČR
Reg. č.: 
IA16507
Datum od: 
1. 1. 1991
Datum do: 
31. 12. 1993