Nové heterostrukturní prvky a diagnostika materiálů pro komunikační a informační technologie. SEM/AES analýza multivrstev s vysokým rozlišením.

5522

Nové heterostrukturní prvky a diagnostika materiálů pro komunikační a informační technologie. SEM/AES analýza multivrstev s vysokým rozlišením.

Nízkoenergiový rastrovací elektronový mikroskop, nedávno vyvinutý v ÚPT, bude poprvé použit pro zobrazení rozhraní v polovodičových multivrstvách. Vzorek je při energii pouze několika elektronvoltů umístěn pod dopadající svazek primárních elektronů. Společně s uzemněnou clonou před vzorkem tvoří katodu. K dosažení maximálního signálu zpětně odražených elektronů je mezi vzorek a objektiv vložen Wienův filtr. Tato nová mikroskopická metoda se vyznačuje vysokou povrchovou citlivostí a vysokým prostorovým rozlišením při nízké energii.
Řešitel v ÚPT: 
Ing. Ilona Müllerová, DrSc.
Řešitel: 
Mohamed M El Gomati - UNIVERSITA V YORKU
Spoluřešitelé: 

Ilona Müllerová - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.

Agentura: 
EC
Reg. č.: 
CP93/12283
Datum od: 
1. 1. 1994
Datum do: 
31. 12. 1997