Optimalizace výrobních postupů v elektronové litografii
6241
Optimalizace výrobních postupů v elektronové litografii
Řešitel v ÚPT:
doc. Ing. Vladimír Kolařík, Ph.D.
Řešitel:
Tomáš Těthal - Optaglio s.r.o
Spoluřešitelé:
Vladimír Kolařík - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.
Agentura:
MPO
Reg. č.:
FR-TI1/576
Datum od:
1. 7. 2009
Datum do:
30. 6. 2012