Pokročilé interferometrické systémy pro měření v nanotechnologiích

452001

Pokročilé interferometrické systémy pro měření v nanotechnologiích

Cílem projektu je výzkum a vývoj interferometrických systémů pro měření geometrických veličin. Výzkum v návaznosti na předchozí výsledky výzkumu laserových etalonů délky a metodiky interferometrické metrologie délky bude zaměřen na technologii výroby optických prvků, metodiku interferometrického měření, stabilizaci frekvence laserových zdrojů záření, detekční systémy interferenčního signálu, zpracování signálů, vše s důrazem na nejvyšší přesnost a rozlišení pro využití v měření v nanosvětě.
Řešitel v ÚPT: 
prof. Ing. Josef Lazar, Dr.
Řešitel: 
Josef Lazar - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.
Spoluřešitelé: 

Miloslav Vychodil - Meopta - optika, s. r. o.

Agentura: 
TA ČR
Reg. č.: 
TA02010711
Datum od: 
1. 1. 2012
Datum do: 
31. 12. 2016