Příprava uhlíkových mikro- a nanostruktur plazmovými technologiemi

6331

Příprava uhlíkových mikro- a nanostruktur plazmovými technologiemi

V projektu bude studován růst uhlíkových nanotrubel (CNT) a nanovláken (CNF) metodou plazmochemické depozice z plynné fáze (PECVD) a budou porovnány různé výboje (mikrovlnný, v.f. CCP a ICP, modifikovaný systém magnetronového naprašování). Cílem je také vyrobit CNT při nízké teplotě, v atmosférickém výboji a růst jednostěnných CNT. Dále bude prováděna syntéza uhlíkových nanostruktur (strukturovaných polymerů, CNT a fullerenů) v pulzním v.f. doutnavém výboji. Bude studován vliv trvání pulzu na depozice. Mikro- a nanokrystalický diamant bude deponován metodou PECVD a jeho vlastnosti budou kontrolovány změnou velikosti krystalitů a dopováním dalšími elementy, např. bórem. Nanokompozitní vrstvy obsahující CNT a CNF budou připravovány metodou PECVD. Vrtsvy budou studovány z hlediska mech., optických a elektrických vlastností. Uhlíkové nanostruktury budou připravovány se zřetelem na funkční zařízení (emitory, standardy pro odhadnutí tuposti AFM hrotu) and pro modifikaci materiálových vlastností povrchu (optických, mechanických a elektromagnetických). Výboje použité pro zmíněné procesy budou studovány optickou emisní spektroskopií, hmotovou a iontovou spektroskopií a Langmuirovou sondou. Připravené materiály budou charakterizovány pomocí TEM a SEM, AFM, FTIR a Ramanovskou spektroskopií, RBS a ERDA, XPS, XRD. Bude vytvořena skupina spolupracujících českých laboratoří pro pokročilou charakterizaci materiálů.
Řešitel v ÚPT: 
Mgr. Jiřina Matějková
Řešitel: 
Lenka Zajíčková - Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Spoluřešitelé: 

Jiřina Matějková - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.

Agentura: 
GA ČR
Reg. č.: 
GA202/05/0607
Datum od: 
1. 1. 2005
Datum do: 
31. 12. 2007