Rastrovací prozařovací elektronová mikroskopie s velmi pomalými elektrony

5511

Rastrovací prozařovací elektronová mikroskopie s velmi pomalými elektrony

Rastrovací prozařovací elektronový mikroskop, pracující obvykle s energií primárního svazku elektronů nad desítkami keV, je široce užívané zařízení pro studium tenkých vzorků. Střední volné dráhy pružného (EMFP) a nepružného (EMFP) rozptylu elektronů rostou se vzrůstající energií. Průchod elektronů vzorkem určité tloušťky je tak otázkou použití dostatečně vysoké energie primárních elektronů, což může vést k radiačnímu poškození vzorku. Je-li energie primárních elektronů snižována pod 100 eV, IMFP začíná opět narůstat, avšak totéž neplatí pro EMFP. Cílem tohoto projektu je studium možností rastrovací prozařovací elektronové mikroskopie s velmi nízkou energií, kde k brždění elektronového svazku těsně nad vzorkem je použita katodová čočka. Je tak možné dosáhnout rozlišení několika nm i při energii několika eV. Studován bude hlavně vliv vzorku na průchod primárního svazku elektronů a úhlově-energiová spektroskopie prošlých elektronů.
Řešitel v ÚPT: 
Ing. Ilona Müllerová, DrSc.
Řešitel: 
Ilona Müllerová - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.
Agentura: 
GA AV ČR
Reg. č.: 
IAA100650902
Datum od: 
1. 1. 2009
Datum do: 
31. 12. 2011