Úprava elektronového litografu (ELito)

6631

Úprava elektronového litografu (ELito)

Cílem projektu je vývoj zařízení pro řízení elektronového litografu, který pak bude dále používán pro vývoj a prototypovou výrobu mikrosystémů. Toto zařízení sestává z části koprocesoru litografu a z části programového vybavení. Projekt je orientován na aplikovaný výzkum, jeho výsledky jsou však nezbytným předpokladem pro výzkum základní. Ve společné laboratoři navrhovatele (FEI VUT) a spolunavrhovatele (ÚPT AV ČR) jsou umístěny dva elektronové litografy: vývojový prototyp litografu BS600 a průmyslový litograf BS601. Navrhovaný projekt inovace řídicí části litografu slibuje za použití přiměřených prostředků zlepšení některých zásadních parametrů litografu, zvýšení spolehlivosti systému, zlepšení opakovatelnosti expozice, podstatné zjednodušení práce uživatele, přenesení části rutinní práce při návrhu expozice z uživatele na programové vybavení, rozšíření počtu možných vstupních formátů dat a tím i počtu možných aplikací litografu, a další drobné pozitivní změny. Výsledkem úspěšné realizace projektu bude litografický systém unikátních parametrů nejen v rámci České republiky, ale i v měřítku Evropy. Oblasti použití tohoto systému zahrnují například výrobu tiskařských normálů, senzorů pro lékařské aplikace, mřížek, čoček a štěrbin pro laserovou techniku a průmyslové měřicí přístroje, opracování membrán a další.
Řešitel v ÚPT: 
Mgr. František Matějka
Řešitel: 
Vladimír Kolařík - Vysoké učení technické v Brně
Spoluřešitelé: 

František Matějka - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.

Agentura: 
GA ČR
Reg. č.: 
GA102/97/1145
Datum od: 
1. 1. 1997
Datum do: 
31. 12. 1998