Vysokoteplotní trojkrystalová rtg difraktometrie a reflektometrie vrstevnatých systémů

6432

Vysokoteplotní trojkrystalová rtg difraktometrie a reflektometrie vrstevnatých systémů

Rtg trojkrystalová difraktometrie a reflektometrie budou použity pro sledování struktury tenkých vrstev a vrstevnatých systémů. Měření bude prováděno za pokojové teploty a za vyšších teplot až do teploty depozice vrstev na polovodičových epitaxních vrstvách a kovových vrstvách připravených magnetronovým naprašováním. Cílem projektu je získat informace o struktuře rozhraní (drsnosti) vrstevnatých systémů a o objemových defektech ve vrstvách (deformační pole, mikrodefekty), jakož i o jejich změnách za vyššíh teplot. Výsledky měření budou korelovány se spekulární a nespekulární odrazivostí vrstev ve viditelné oblasti a s pozorováním TEM a STM.
Řešitel v ÚPT: 
Ing. Jaroslav Sobota, CSc.
Řešitel: 
Václav Holý - MASARYKOVA UNIVERZITA
Spoluřešitelé: 

Jaroslav Sobota - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.

Agentura: 
GA ČR
Reg. č.: 
GA202/94/1871
Datum od: 
1. 1. 1994
Datum do: 
31. 12. 1996