Vytváření nanostruktur fokusovanými iontovými svazky

5422

Vytváření nanostruktur fokusovanými iontovými svazky

Úkol č. 1. Reexaminace iontové optiky s účelem identifikovat všechny možnosti zlepšení. Budeme provádět analýzu elektrostatických čoček používaných v optickém systému a pokusíme se vylepšit kritické prvky návrhu. Vlastnosti vychylovacího systému budou modelovány a optimizovány a bude určena maximální možná výchylka. Bude zahájena předběžná analýza korekčních prvků, které mohou být přidány do systému. Termín: rok 2002. Úkol bude rozdělen do dvou částí. Bude proveden výpočet všech vlastností iontového zdroje za použití stndardního modelování iontových trajektorií pro daný tvar emisního kužele. Do výpočtu budou zahrnuty efekty Coulombovských interakcí řešené pomocí programu POCAD z TU Delft. Termín: První čtvrtletí 2003. Ve spolupráci s partnerem na U. Surrey budou do výpočtů zahrnuty veličiny vztahující se k iontové emisi. Termín: konec roku 2003. Výsledky modelování poskytnou vodítko pro automatizaci a korekci systému a k návrhu automatické kontroly systému Nano-FIB. Datum dokončení konec roku 2003; budou podávány průběžné zprávy.
Řešitel v ÚPT: 
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc.
Řešitel: 
Peter W Hawkes - Univerzita v Surrey
Spoluřešitelé: 

Bohumila Lencová - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.

Agentura: 
EC
Reg. č.: 
G5RD-CT-2000-00344
Datum od: 
1. 5. 2002
Datum do: 
31. 12. 2003