Výzkum kontrastu v dopovaných polovodičích v nízkoenergiovém rastrovacím elektronovém mikroskopu s mezními parametry
5331
Výzkum kontrastu v dopovaných polovodičích v nízkoenergiovém rastrovacím elektronovém mikroskopu s mezními parametry
Řešitel v ÚPT:
Ing. Filip Mika, Ph.D.
Řešitel:
Filip Mika - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.
Agentura:
GA ČR
Reg. č.:
GP102/09/P543
Datum od:
1. 1. 2009
Datum do:
31. 12. 2010