Zkoumání látek v rastrovacím elektronovém mikroskopu s vysokým rozlišením s velmi pomalými elektrony

5531

Zkoumání látek v rastrovacím elektronovém mikroskopu s vysokým rozlišením s velmi pomalými elektrony

Cílem projektu je zkoumání čistých povrchů v tlaku 10-8 Pa, jejich defektů a povrchů s pokrytím méně než jednoatomovou vrstvou pomocí rastrovacího elektronového mikroskopu (REM) s energií elektronů od několika set elektronvoltů do téměř nulové energie, a to s vysokým prostorovým rozlišením. Dalším cílem je získání obrazu zadní ohniskové roviny objektivové čočky, který obsahuje informaci o úhlovém rozložení emise a poskytuje tedy signál světlého a temného pole (difraktované svazky) v REM s velmi pomalými elektrony.
Řešitel v ÚPT: 
Ing. Ilona Müllerová, DrSc.
Řešitel: 
Ilona Müllerová - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.
Agentura: 
GA ČR
Reg. č.: 
GA202/95/0280
Datum od: 
1. 1. 1995
Datum do: 
31. 12. 1997