Laserové zdroje záření a metrologie optických soustav v DUV spektrální oblasti

Cíl projektu česky Hlavním cílem projektu je ve spolupráci s Ústavem přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. realizovat vlastní zdroj laserového záření na vlnových délkách 266 nm a 213 nm, adaptovat metrologické zázemí a metody především pro vlnové délky 213 nm a 193 nm pro uplatnění v budoucí produkci firmy Meopta-optika, s.r.o.