Elektronové litografy

• elektronový litograf Tesla BS600 vyvinutý na ÚPT v letech 1977-1984;
  průběžně modernizovaný až do současnosti;
• postupy pro seřízení litografu;
• technologické, litografické a testovací značky;
• clony pro tvarování obdélníkového svazku;
• rozložení proudové hustoty ve svazku;
• emitéry elektronů.

Skupina elektronové litografie

Oblasti výzkumu:

• Elektronové litografy
  
• Mikrolitografie
  
• Planární nanostruktury
• Průmyslová holografie

Nabízené technologie:

• Technologie elektronové litografie
• Technologie difrakčních prvků

Elektronový litograf Tesla BS600

• Elektronový litograf s tvarovaným svazkem a urychlovacím napětím 15 kV.
• Rozlišení zápisu (pozicování svazku) 50 nm.
• Velikost svazku 50-6300 nm (standardní mód); 17-2100 nm (TZ mód).
• Expoziční pole 3 × 3 mm2 (max).
• Korekce rozptylových jevů při expozici.