Elektronová litografie
Skupina elektronové litografie (EBL) se zabývá výzkumem v oblasti mikrolitografických technologií s využitím elektronového litografu. Činnost skupiny EBL je zaměřena zejména na velkoplošné mikrostruktury pro difrakční optické elementy pro formování laserového svazku, na submikronmetrové difrakční holografické struktury pro průmyslové aplikace holografie a na struktury v tenkých vrstvách kovů a dielektrik na křemíkových podložkách pro biosenzory a vodivostní chemické senzory. Nezbytnou součástí tohoto výzkumu je řešení off-line a on-line software pro řízení expozice při zahrnutí problematiky zpracovávání velkého objemu dat, omezení projevu rozptylových jevů při expozici elektronovým svazkem a omezení vlivu rozměrového zkreslení vlivem optických vad zobrazovací soustavy litografu a vlivem teplotních driftů. Součástí řešení je i modelování a simulace pro optimalizace parametrů vytvářených struktur a pro usnadnění jejich návrhu. |
V Ý Z K U M A V Ý V O J A P L I K A Č N Í S F É R A |
Členové skupiny participují na řešení těchto výzkumných projektů (k 1. 1. 2023):
|
|
|
Publikační výsledky skupiny EBL od roku 2010; aktuální výsledky za rok 2021 resp. 2022. Vybraný výsledek. Přispěli jsme k realizaci experimentálního systému zachycujícího chování fázové přeměny nekonečného řádu. Výsledky analýzy recipročního prostoru magnetických konfigurací jako funkce průměru děr, průměr se zvětšuje zleva doprava. Obrázek otisknut na titulní straně časopisu PRL (červenec 2022). Schánilec, V. – Brunn, O. – Horáček, M. – Krátký, S. – Meluzín, P. – Šikola, T. – Canals, B. – Rougemaille, N. Approaching the Topological Low-Energy Physics of the F Model in a Two-Dimensional Magnetic Lattice. Physical Review Letters. Roč. 129, č. 2 (2022), č. článku 027202. ISSN 0031-9007. E-ISSN 1079-7114. |
Dokumenty PDF
Monografie |
|
Virtuální prohlídka laboratoře Elektronové litografie (clean room ALISI):
Skupina EBL okolo elektronového litografu Raith (Vistec EBPG5000plusES) v čistých laboratořích ALISI: