Elektronové litografy
|
|
|
|
|
Skupina elektronové litografie Oblasti výzkumu: Nabízené technologie:
|
||
Elektronový litograf Tesla BS600
|
|
||
|
|||
|
|||
Srovnávací studie: čtyři metody měření proudové hustoty ve svazku elektronů. |
|
||
Emitéry elektronů |
|
||
|
|||
Hrot emitéru elektronů (vlevo), emisní obrazec (uprostřed) a krystalografický model hrotu (vpravo). |
Výzkumná skupina:
Elektronová litografie