Elektronové litografy

  • elektronový litograf Tesla BS600 vyvinutý na ÚPT v letech 1977-1984;
    průběžně modernizovaný až do současnosti;
  • postupy pro seřízení litografu;
  • technologické, litografické a testovací značky;
  • clony pro tvarování obdélníkového svazku;
  • rozložení proudové hustoty ve svazku;
  • emitéry elektronů.

 

 

Elektronový litograf Tesla BS600, konfigurace 2012

 

Skupina elektronové litografie

Oblasti výzkumu:

Nabízené technologie:

 

Elektronový litograf Tesla BS600

  • Elektronový litograf s tvarovaným svazkem a urychlovacím napětím 15 kV.
  • Rozlišení zápisu (pozicování svazku) 50 nm.
  • Velikost svazku 50-6300 nm (standardní mód); 17-2100 nm (TZ mód).
  • Expoziční pole 3 × 3 mm2 (max).
  • Korekce rozptylových jevů při expozici.

 

 

 Mereni

 


Srovnávací studie: čtyři metody měření proudové hustoty ve svazku elektronů.

 


Emitéry elektronů

 

 
Katoda Obrazec Model hrotu

 

 
Hrot emitéru elektronů (vlevo), emisní obrazec (uprostřed) a krystalografický model hrotu (vpravo).    

 


Výzkumná skupina: 
Elektronová litografie